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装修案例津南食品厂净化车间




生产设备的平面布局也是电子无尘室厂房的装修工程工艺设计的重要内容。电子无尘厂房形式一般有隧道式(或称港湾式)、开放式、岛形布置等。据调查表明,集成电路芯片制造用无尘室厂房的装修工程一般采用隧道式和开放式,其中隧道式洁净室主要用于5英寸、6英寸芯片制造厂,生产设备横跨洁净生产区和设备维护区,洁净生产区对洁净度要求严格,而设备维护区的空气洁净度等级相对较低.
   

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